在半导体制造、光学薄膜制备以及材料科学研究等领域，电子束蒸发镀膜机凭借其高精度和高质量的镀膜能力而备受欢迎。但是它在使用过程中难免会遇到一些问题，了解这些常见故障及其相应的解决方法，可以帮助您快速恢复正常运行，确保实验或生产顺利进行。本文将详细介绍电子束蒸发镀膜机的常见故障及解决方案。一、真空系统故障1、真空度无法达到设定值可能原因及解决方法：真空泵性能下降：检查真空泵的工作状态，包括抽速和极限真...